发明名称 用于量测高频电压与电流之同步低取样技术
摘要 本发明揭示一种功率源,当其为从控制器之驱动信号所驱动时可产生信号(射频或微波)。一感测器可测量由功率源所产生之信号之电压与电流,并可产生代表所测量电压与电流之感测器信号。一取样器可配置以与驱动功率源之驱动信号同步地低取样感测器信号。取样频率可为感测器信号基频之数倍。在射频频率下,可施行同步低取样或同步高取样。在微波频率下,则可施行同步低取样。
申请公布号 TW200702669 申请公布日期 2007.01.16
申请号 TW095117561 申请日期 2006.05.18
申请人 MKS公司 发明人 卡提姆;奈席德
分类号 G01R21/06(2006.01) 主分类号 G01R21/06(2006.01)
代理机构 代理人 黄庆源;何爱文
主权项
地址 美国