一种频域遮罩与其实现方法以及使用该频域遮罩检测重复图案瑕疵之检验方法

摘要

本发明提供一种频域遮罩与其实现方法以及使用该频域遮罩检测重复图案瑕疵之检验方法，该频域遮罩系包括：一第一频区窗口，其系设置于该二维频率平面之中心，该第一频区窗口具有一第一增益值；复数个第二频区窗口，其系以该第一频区窗口中心为中心依序排列，该复数个第二频区窗口其系具有一第二增益值；以及一第三频区，其系设置于该第一频区窗口与该复数个第二频区窗口之间，该第三频区系具有一第三增益值。利用本发明之频域遮罩藉由空间域的乘法遮罩加以实现以形成一影像滤波器，藉由该滤波器可以用来进行具有复数个周期性重复排列图案之影像光学检验，以达到提高检验精准度以及检验速度之目的。