压电基板及其制造方法

摘要

可完成高Q值且乱真模式少的厚度剪切谐振器，同时，可得到其量产之手段。在圆形或矩形之平板状的压电基板之一体形成朝向基板上下相对向的既定大小之突起部(凸面部)，同时，使该突起部之上面及基板的周缘部(斜面部)之面成为同一球面状地构成压电基板。其制造方法系在平板状的压电基板上，利用光微影技术及蚀刻手法形成凸面型压电基板，将该压电基板与研磨剂一起放入圆筒容器，使其以既定之旋转速度旋转而制造凸面斜面型压电基板。