图案描绘装置及图块数目之决定方法

摘要

一种图案描绘装置包含数位微镜装置(DMD)用来空间调变来自于光源之光，且分别导引经调变之光束至二维排列于基板上之多个照射区。经由控制DMD同时扫描该等多个照射区来描绘图案。多个照射区形成排列于行方向之多个照射图块，于该等照射区各自系排列于列方向。于DMD中，描绘信号系循序输入至与多个照射图块相对应之多个镜图块中使用的镜图块。当描绘图案时，运算部分考虑将描绘信号输入至DMD所需时间及施加于基板的光量，决定欲使用之镜图块数目，此处扫描速度可最大化。