图案形成材料、及图案形成装置、以及图案形成方法

摘要

本发明系一种图案形成材料，其系在支撑体上至少具有感光层，该感光层系由含有硷可溶性黏合剂、聚合性单体及光聚合起始剂之感光性组成物所构成，该感光性组成物之在30℃～40℃下之熔融黏度为1×1041×107mPas，当将前述感光层予以曝光显像所得到的图案厚度变成未曝光状态的厚度之90％时的在波长405奈米的雷射光下之最少曝光量为20mJ／cm2以下。