基板用搬运除尘装置之使用方法、以及基板用搬运除尘装置

摘要

〔课题〕提供一种基板用搬运除尘装置之使用方法及基板用搬运除尘装置，使在将基板之前端引入除尘单元时不发生弯曲或振动，而且调整细腰管效应的平衡，使增加向下侧之吸引力，系薄且具有弹性之基板亦实现安定之搬运或尘埃等之吸引的增加。〔解决手段〕一种基板用搬运除尘装置及其使用方法，将下侧除尘单元210之吸气室211、213之的吸引缝隙之纵向配置成对基板搬运方向a大致成直角。而且在基板G之一边方向对基板搬运方向a之大致垂直方向以既定之交叉角α倾斜的状态，在如基板G之突端变成前头般向下侧除尘单元210搬运下接受除尘。