外观检查装置及外观检查方法、以及可安装于外观检查装置之周围部检查单元

摘要

本发明之外观检查装置具有巨观检查部与微观检查部，而微观检查部系于装载板装载有检查载物台与显微镜者。又，检查载物台可分别朝X方向、Y方向、及Z方向移动，亦可朝θ方向旋转。再者，装载板上固定有用以取得晶圆周围部之放大影像的周围部检查部。又，周围部检查部系配置成可摄影固持于检查载物台之晶圆周围部者。