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发明名称 METHOD FOR FABRICATING SOI WAFER
摘要
申请公布号 KR100668808(B1) 申请公布日期 2007.01.16
申请号 KR20000030158 申请日期 2000.06.01
申请人 发明人
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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