发明名称 A cooling water connector for semiconductor equipment
摘要
申请公布号 KR100669662(B1) 申请公布日期 2007.01.15
申请号 KR20000073150 申请日期 2000.12.05
申请人 发明人
分类号 H01L21/48 主分类号 H01L21/48
代理机构 代理人
主权项
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