| 主权项 |
1.一种感应系统,其系用于判定一基材之一边缘相 对于一支撑该基材之平台的位置,其至少包含: 数个探针,其系以一间隔关系配置于一支撑一基材 之平台的周围,其中每一探针包括一侦测部,该侦 测部系用于: 由一已知起始位置移向该平台所支撑之该基材的 一边缘; 侦测由该平台所支撑该基材之该边缘; 于该侦测之后产生一侦测讯号;以及 于该侦测之后,停止移向该基材之该边缘;以及 一连接至该数个探针之控制器,其系依据每一侦测 部之该已知起始位置以及每一侦测部所产生之该 侦测讯号来判定该基材之该边缘相对于该平台之 一位置。 2.如申请专利范围第1项所述之感应系统,其中每一 侦测部至少包含一开关,其系用于接触该基材之该 边缘并于该接触时产生一侦测讯号。 3.如申请专利范围第1项所述之感应系统,其中该等 侦测部之每一者系用于沿着一直线路径以移向该 基材之该边缘。 4.如申请专利范围第3项所述之感应系统,其中该数 个探针系位于一共平面,而该共平面含有数个该等 侦测部之直线路径。 5.如申请专利范围第4项所述之感应系统,其中该数 个探针包括一第一及一第二探针,当该第一及第二 探针内缩时系沿着该共平面内之一第一路线被定 位。 6.如申请专利范围第5项所述之感应系统,其中该数 个探针包括一第三及一第四探针,当该第三及第四 探针内缩时系沿着该共平面内之一第二路线由该 第一及第二探针定位于该平台之一相对侧。 7.如申请专利范围第6项所述之感应系统,其中该数 个探针包括一第五探针,当该第五探针内缩时系沿 着该共平面内之一第三路线被定位,其中该第三路 线系大致垂直于该第一及第二路线。 8.如申请专利范围第7项所述之感应系统,其中该数 个探针包括一第六探针,当该第六探针内缩时系沿 着该共平面内之一第四路线由该第五探针定位于 该平台之一相对侧,其中该四路径系大致垂直于该 第一及该第二路线。 9.如申请专利范围第5项所述之感应系统,其中该数 个探针包括一第三及一第四探针,当该第三及第四 探针内缩时系沿着该共平面内之一第二路线被定 位,其中该第二路线系大致垂直于该第一路线。 10.如申请专利范围第1项所述之感应系统,其更包 括数个驱动机构,每一驱动机构系连接该等探针之 每一者,且每一驱动机构系用于将该等探针之每一 者移向及移离该基材之该边缘。 11.如申请专利范围第10项所述之感应系统,其中每 一驱动机构至少包含一马达。 12.如申请专利范围第11项所述之感应系统,其中该 控制器系连接该数个马达之每一者,且该控制器对 该等探针之每一者而言系适用于: 控制连接该探针之该马达,以将该探针之该侦测部 移向该基材之该边缘; 当该侦测部侦测到该基材之该边缘时,接收该探针 之该侦测部所产生之该侦测讯号;以及 回应所接收到的侦测讯号,控制连接该探针之该马 达以停止该探针之该侦测部移向该基材之该边缘 的移动。 13.如申请专利范围第12项所述之感应系统,其中: 每一探针之该侦测部更可由该平台内缩,以使该基 材可装载于该平台以及由该平台移离;且 该控制器更可控制每一马达,以将连接该马达之该 探针之该侦测部内缩至该侦测部之该已知起始位 置。 14.如申请专利范围第12项所述之感应系统,其中该 控制器更可用于: 判定每一探针之该侦测部由该侦测部之该已知起 始位置移向该侦测部侦测到该基材之该边缘之一 位置时的距离;以及 依据每一探针之该侦测部所移动的距离判定该基 材之该边缘相对于该平台之该位置。 15.如申请专利范围第14项所述之感应系统,其中该 控制器更可依据数个已决定之距离来判定该基材 相对于该平台之直线性。 16.一种探针,其至少包含: 一侦测部,其系适用于: 由一已知起始位置移向一平台所支撑之一基材之 一边缘; 侦测由该平台所支撑之该基材之该边缘; 于该侦测之后产生一侦测讯号;以及 于该侦测之后停止移向该基材之该边缘; 一驱动机构,其系用于将该侦测部移向该平台;以 及 一连接该侦测部及该驱动机构之控制器,其系依据 该侦测部之该已知起始位置以及该侦测部所产生 之该侦测讯号来判定该基材之该边缘相对于该平 台之一位置。 17.如申请专利范围第16项所述之探针,其中该控制 器更适用于: 控制该驱动机构以将该探针之该侦测部移向该基 材之该边缘; 当该侦测部侦测到该基材之该边缘时,接收该探针 之该侦测部所产生之该侦测讯号;以及 回应所接收之侦测讯号,控制该驱动机构以停止该 探针之该侦测部移向该基材之该边缘的移动。 18.如申请专利范围第16项所述之探针,其中该侦测 部至少包含一开关,其系用于接触该基材之该边缘 以及于该接触时产生一侦测讯号。 19.如申请专利范围第16项所述之探针,其中: 该侦测部更可用于由该平台内缩以让该基材可装 载于该平台之上以及由该平台移离;以及 该控制器更可用于控制该驱动机构,以将该侦测部 内缩至该侦测部之该已知起点。 20.一种判定一由一平台所支撑之基材的一边缘相 对于该平台之位置的方法,该方法至少包括: 提供数个侦测器,其系以一间隔关系配置于一支撑 一基材之平台的周围; 控制各侦测器,以由一已知起始位置移向该基材之 该边缘; 利用各侦测器侦测该基材之该边缘; 在该侦测器侦测到该基材之该边缘后,由各侦测器 产生一侦测讯号; 在该侦测器侦测到该基材之该边缘后,控制各侦测 器以停止移向该基材之该边缘;以及 依据各侦测器之该已知起始位置以及各侦测器产 生之该侦测讯号来判定该基材之该边缘相对于该 平台之一位置。 21.如申请专利范围第20项所述之方法,其中: 控制各侦测器,以由一以知起始位置移向该基材之 该边缘,该方法至少包括控制一马达以将该侦测器 移向该基材之该边缘;以及 在该侦测器侦测到该基材之该边缘后,控制各测器 停止移动,其至少包含: 当该侦测器侦测到该基材之该边缘时,接收该侦测 器所产生之该侦测讯号;以及 回应所接收到之侦测讯号,控制该马达以停止该侦 测器之移动。 22.如申请专利范围第20项所述之方法,其更包含将 数个侦测器内缩至该等侦测器之该已知起始位置 。 23.如申请专利范围第20项所述之方法,其中依据各 侦测器之该已知起始位置以及各侦测器所产生之 该侦测讯号来判定该基材之该边缘相对于该平台 之一位置,其至少包含: 判定数个侦测器之每一者由该侦测器之该已知起 始位置移至该侦测器侦测到该基材之该边缘的一 位置时之距离;以及 依据各侦测器所移动之该距离判定该基材之该边 缘相对于该平台之该位置。 24.如申请专利范围第23项所述之方法,其更包含依 据数个距离来判定该基材相对于该平台之直线性 。 图式简单说明: 第1A图系依据本发明之一感应系统的上方概要图 。 第1B图系第1A图之感应系统所配置侦测一基材边缘 之探针侦测部的上方概要图。 第2图系第1A-1B图之该感应系统之第一替代实施例 的上方概要图。 第3图系第1A图之感应系统沿截面3-3之一示例截面 图之侧视概要图。 第4图系依据本发明之一例示性制程流程图,其系 用以侦测一基材之边缘相对于一测试平台(其同时 亦支撑该基材)之位置。 |
