METHOD FOR PRODUCING A STRUCTURED PARYLENE COATING, AND CORRESPONDING STRUCTURED PARYLENE COATING

摘要

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Herstellen einer strukturierten Parylen-Beschichtung auf einem Substrat, welches die Schritte umfasst: Verdampfen von Parylen; Pyrolysieren des verdampften Parylens; Polymerisieren des pyrolysierten Parylens; Kühlen des polymerisierten Parylens und Abscheiden des gekühlten Parylens auf einem Substrat, gekennzeichnet durch Einstellen der Temperatur des Substrats zur strukturierten Abscheidung des Parylens. Dadurch ergibt sich der Vorteil, dass mittels des Verfahrens der vorliegenden Erfindung beispielsweise Röntgenkonverter antikorrosiv verkapselt werden können und eine elektrische Kontaktierung mittels späterer Metallkontakte einfach erfolgen kann.