发明名称 Transversal elektrisch angeregter Gasentladungslaser zur Erzeugung von Lichtpulsen mit hoher Pulsfolgefrequenz und Verfahren zur Herstellung
摘要 Gasentladungslaser mit einer Entladungsröhre, Haupt- und Hilfselektroden, Resonatorspiegeln und einem elektrischen Anregungskreis können Lichtpulse bis in den Subnanosekundenbereich generieren. Sie besitzen ein breites Anwendungsspektrum, beispielsweise als Anregungs- oder Ionisationslichtquelle bei verschiedenen Spektroskopieverfahren und im Zusammenhang mit dem UV-Mikroskop. Bekannte Gasentladungslaser weisen verschiedene Dichtungen im Bereich der Entladungsröhre auf und sind im endmontierten Zustand nicht nachjustierbar. Bei dem erfindungsgemäßen, wartungsfreien Gasentladungslaser (GL) mit einer Leistungsfähigkeit im Bereich von einigen 100 Millionen Lichtpulsen sind zur Feinjustage die Hauptelektroden (HE1, HE2) in verformbaren Trägerwannen (TW) und die Resonatorspiegel (RS) in verformbaren Trägerringen (TR) gelagert, die durch Hartlot (HL) stoffschlüssig mit partiellen Metallbelägen (MB) auf der Entladungsröhre (ER) verbunden sind. Alle ultrahochvakuumtauglichen Komponenten sind zur vollständigen Wasserentfernung über die zweite Wassergrenze (355 DEG C) ausheizbar. Ein bevorzugtes Verfahren zur Herstellung sieht ein Hartlöten oberhalb von 900 DEG C der Trägerkomponenten mit partiellen Metallbelägen (MB) auf der Entladungsröhre (ER), ein Einschweißen der Resonatorspiegeln (RS), ein Ausheizen über die zweite Wassergrenze und eine anschließende Feinjustage vor.
申请公布号 DE102005024931(B3) 申请公布日期 2007.01.11
申请号 DE200510024931 申请日期 2005.05.23
申请人 LTB-LASERTECHNIK GMBH 发明人 SCHOLZ, MATTHIAS;SCHURACK, JOHANNES;SPRANZ, EDGAR;SEGSA, KARL HEINZ;MUELLER, JOACHIM
分类号 H01S3/03;H01S3/0971 主分类号 H01S3/03
代理机构 代理人
主权项
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