发明名称 | 氧化铟-氧化锡粉末和使用该粉末的溅射靶以及氧化铟-氧化锡粉末的制造方法 | ||
摘要 | 本发明提供能够延长靶的寿命、可以得到高密度的溅射靶的氧化铟-氧化锡粉末和使用该粉末的溅射靶及氧化铟-氧化锡粉末的制造方法。在氧化铟-氧化锡粉末中以In-Sn氧化物为主要成分,碳含量在50ppm以下。 | ||
申请公布号 | CN1891663A | 申请公布日期 | 2007.01.10 |
申请号 | CN200610100096.4 | 申请日期 | 2006.06.29 |
申请人 | 三井金属矿业株式会社 | 发明人 | 高桥诚一郎;渡边弘 |
分类号 | C04B35/01(2006.01);C04B35/453(2006.01);C23C14/08(2006.01) | 主分类号 | C04B35/01(2006.01) |
代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 陈昕 |
主权项 | 1、氧化铟-氧化锡粉末,是以In-Sn氧化物为主要成分的氧化铟-氧化锡粉末,其特征在于,碳含量为50ppm以下。 | ||
地址 | 日本东京都 |