发明名称 氧化铟-氧化锡粉末和使用该粉末的溅射靶以及氧化铟-氧化锡粉末的制造方法
摘要 本发明提供能够延长靶的寿命、可以得到高密度的溅射靶的氧化铟-氧化锡粉末和使用该粉末的溅射靶及氧化铟-氧化锡粉末的制造方法。在氧化铟-氧化锡粉末中以In-Sn氧化物为主要成分,碳含量在50ppm以下。
申请公布号 CN1891663A 申请公布日期 2007.01.10
申请号 CN200610100096.4 申请日期 2006.06.29
申请人 三井金属矿业株式会社 发明人 高桥诚一郎;渡边弘
分类号 C04B35/01(2006.01);C04B35/453(2006.01);C23C14/08(2006.01) 主分类号 C04B35/01(2006.01)
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人 陈昕
主权项 1、氧化铟-氧化锡粉末,是以In-Sn氧化物为主要成分的氧化铟-氧化锡粉末,其特征在于,碳含量为50ppm以下。
地址 日本东京都