表面检测装置及利用该检测装置的表面检测方法

摘要

本发明提供一种表面检测装置及利用该检测装置的表面检测方法。该表面检测装置，包含：与检测对象的检测表面隔离而设置的移送杆；具有分别结合于移送杆两端的发光部和收光部的光传感器，以用于在与检测对象的检测表面相隔预定间距的上方按照与检测对象的检测表面平行的方向收发光线；驱动部，以用于朝着与检测对象的检测表面平行但与光传感器的发光方向不同的方向移送移送杆；位置调节器，以用于调节检测对象的检测表面与光传感器发光路径之间的距离。由此，可以正确地检测出基板上表面或底面的杂质，而且因结构变得简单而可以降低生产成本。

主权项

1、一种表面检测装置，其特征在于包含：具有发光部和收光部的光传感器，以用于在与检测对象的检测表面相隔预定间距的上方按照与所述检测对象的检测表面平行的方向收发光线；驱动部，以用于沿着与所述检测对象的检测表面平行但与所述光传感器的发光方向相交叉的方向相对于所述检测对象移送所述光传感器。