控制方法、温度控制方法、调整装置、温度调节器、程序、记录媒体和热处理装置

摘要

一种控制方法，抑制过渡时或稳定期间的温度等的物理状态的偏差。在将工件装载在热板上开始进行热处理时，根据预先给予的调整值数据来形成目标温度的相加波形，将该相加波形加到目标温度(SP)上来进行温度控制，使用表示目标温度(SP)与工件温度的关系的干涉矩阵，将所述调整值的数据作为抑制工件的温度偏差的数据。

主权项

1、一种控制方法，其按照使在多个检测点检测对被处理物进行处理的处理机构的物理状态的各检测信息与多个的各目标信息一致的方式，控制所述处理机构的物理状态，其特征在于，使用表示所述目标信息与所述被处理物的物理状态的关系的关系信息，调整所述目标信息以使所述被处理物的物理状态成为期望的状态。