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Gegenstand der vorliegenden Erfindung sind ein Verfahren und eine Vorrichtung zur optischen Abtastung einer Probe. Dazu sind eine Verstelleinheit (2, 3) sowie eine Abtasteinrichtung (4, 5) vorgesehen. Die Probe (1) wird mittels der von einer Steueranlage (7) beaufschlagten Verstelleinheit (2, 3) gegenüber der Abtasteinrichtung (4, 5) bewegt oder umgekehrt. Erfindungsgemäß wird für die Verstelleinheit (2, 3) ein Bewegungsfenster (F) definiert, innerhalb dessen mechanische Kollisionen mit der Abtasteinrichtung (4, 5) ausgeschlossen sind.
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