发明名称 Methods of fabricating a semiconductor integrated circuit with thin film transistors using a selective epitaxial growth technique and a partial planarization technique and semiconductor integrated circuits fabricated thereby
摘要
申请公布号 KR100663349(B1) 申请公布日期 2007.01.02
申请号 KR20040071886 申请日期 2004.09.08
申请人 发明人
分类号 H01L27/11 主分类号 H01L27/11
代理机构 代理人
主权项
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