溅镀机阀门之控制装置

摘要

本发明系有关于溅镀机阀门之控制装置，系装设于溅镀机各腔室阀门之一侧，包含有一连接支架，内穿设有一转轴，转轴一端与溅镀机的阀门连接，转轴上套设有磁性流体以做为阻隔气密之用。一连接轴，设于连接支架之一侧，并与转轴连接。一气压缸，设于连接轴之一侧，用于提供一往覆的动力，驱使连接轴转动。