| 摘要 |
(问题)本发明提供一种涂布装置，当透过喷嘴涂布涂布液于基板之被涂布面时，能抑制涂布液之涂布不均。(解决手段)本发明之涂布装置具备有：喷嘴82，其具备有连通于前端开口部83之毛细管状间隙88，且经毛细管状间隙将涂布液导往前端开口部；升降机构33，其使该喷嘴之前端开口部对基板28之被涂布面28A接近或离开，可使已到达于上述前端开口部之涂布液浸润于被涂布面；以及，移动台16，其使基板相对于喷嘴扫瞄，藉以将浸润于被涂布面之上述前端开口部内的涂布液涂布于该被涂布面上，上述升降机构33具备有用以支持喷嘴之喷嘴支持轴78、79、80，该喷嘴支持轴前端固定有台座93，同时喷嘴支持轴上缠绕有线圈102，透过对该线圈通电而产生电磁铁的磁力，使喷嘴保持及安装于上述台座上。 |
