摘要 |
本发明提供用于临场与离场测量由光学系统所产生之闪光的复振幅模数以及强度之空间分布的装置及其方法。临场与离场测量包含干涉以及非干涉测量,测量使用同时位于光学系统之物面中的绕射点之阵列以增大共轭像平面中关于闪光的所测量之性质的讯号。绕射点产生具有随机化相对相位之绕射光束。通常,干涉分布测量使用相移点绕射干涉测量法以产生地形干扰讯号,且非干涉测量是基于闪光之除地形干扰讯号以外之相关讯号来进行。藉由侦测器产生地形干扰讯号以及闪光相关讯号以作为电干扰讯号或电闪光相关讯号或者作为记录媒体中之相对应的曝光诱发变化。 |