PIEZOELECTRIC ACTUATOR WITH AN IMPROVED STROKE CAPABILITY

摘要

Die vorliegende Erfindung liefert einen Piezoaktor (1) mit einem gesteigerten Hubvermögen aufgrund der Ausnutzung der Verformungseigenschaften von speziell strukturierten piezokeramischen Schichten (10) unter dem gleichzeitigen Einfluss einer mechanischen Vorspannung und eines elektrischen Feldes. Zudem liefert die vorliegende Erfindung ein Verfahren zur Herstellung dieser Piezoaktoren (1). Die Piezoaktoren eignen sich für Niederspannungsbetrieb, beispielsweise im Bereich der Bio- und Medizintechnik (Mikropumpen, Mikroventile), der Industrieelektronik (pneumatische Ventile) und der Mikroaktorik und -motorik realisieren.