HIGH LIFTING CAPACITY PIEZOELECTRIC ACTUATOR

摘要

Die vorliegende Erfindung offenbart einen Piezoaktor mit gesteigertem Hubvermögen. Der Piezoaktor 1 besteht aus einer piezoelektrischen Schicht 10 und einer zweiten Schicht 20, die einen Materialgradienten in Dickenrichtung aufweist. Ein elektrisches Feld erzeugt unterschiedliche Dehnungszustände in der piezoelektrischen Schicht 10 und der zweiten Schicht 30, was in Kombination mit einer eingeprägten mechanischen Vorspannung zu einer Hubsteigerung des Piezoaktors 1 führt. Die Piezoaktoren eignen sich für Niederspannungsbetrieb, beispielsweise im Bereich der Bio- und Medizintechnik (Mikropumpen, Mikroventile) , der Industrieelektronik (pneumatische Ventile) und der Mikroaktorik und -motorik.