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发明名称 WAFER CLAMPING DEVICE FOR A DOUBLE SIDE GRINDER
摘要
申请公布号 EP1735127(A1) 申请公布日期 2006.12.27
申请号 EP20050711676 申请日期 2005.01.20
申请人 MEMC ELECTRONIC MATERIALS, INC. 发明人 BHAGAVAT, MILIND, S.;GUPTA, PUNEET;VANDAMME, ROLAND;KAZAMA, TAKUTO;TACHI, NORIYUKI
分类号 B24B7/17;B24B41/06 主分类号 B24B7/17
代理机构 代理人
主权项
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