终点侦测装置及其控制电路

摘要

本案系为一种控制电路，其系适用于具有一感应器之终点侦测装置且与一半导体机台连接，其中该感应器系用以接收一晶圆表面所反射之光波信号，该控制电路包含：一位阶调整电路，其系受一使用者之触发而产生一位阶调整信号；一增益调整电路，其系受该使用者之触发而产生一增益调整信号；以及一补偿电路，其系与位阶调整电路、增益调整电路及半导体机台连接，并接收该光波信号，用以根据位阶调整信号及／或增益调整信号之内容对该光波信号之波形进行补偿，且因应补偿后之光波信号产生一控制信号，以控制半导体机台之运作。