具有沟渠结构的半导体元件与方法

摘要

在一实施例中，在一基板中形成一对侧壁钝化沟渠接点，以提供与一表面下特征(sub–surfacefeature)之电接触。在该对侧壁钝化沟渠接点之间扩散一掺杂区域，以提供低电阻接触。