| 摘要 |
一种TFT基板检查装置，能够以短时间利用高温进行基板检查。本发明之TFT基板检查装置1包括对已导入的TFT基板9进行基板检查的检查室4、以及将TFT基板导入至检查室内的加载互锁真空室2，加载互锁真空室2包括对所导入的TFT基板进行预备加热的加热单元10，检查室4包括将从加载互锁真空室导入的TFT基板进行保温的保温单元11。利用加热单元10对TFT基板9预备加热，可将处于高温状态下的TFT基板导入至检查室内，因而检查室内无需用于加热至高温的机构，而且无需使检查室内升温的时间即可进行基板检查。 |
