利用两个位移脉冲来测试或测量电气元件之方法及系统

摘要

本发明系关于一种为以测试或测量电气元件(2–1)之方法，其包含如下步骤：将一第一粒子束(4–1)施加于一电气元件之第一位置(3–1)，以自该第一位置处释放电子；将一第二粒子束(4–2)施加于一电气元件之第二位置(3–2)，而相关于施加该第一粒子束(4–1)具有异于零之时间位移(Δt)，以自该第二位置处释放电子；收集在该第一及该第二粒子束之效应下所释放出的电子；以及测量至少一对应于该第二粒子束之效应下而释放的所收集电子之电荷数量；以及按定量方式或定性方式自此引发出该电气元件之一电气特性。