| 摘要 |
本发明揭示一种用于量测一光子晶体之一散射特征之一尺寸或角度的方法，使用光照射至少阵列之部分。侦测自该阵列散射之光之一特性。对该散射光之该侦测特性执行一比较演算法。该比较演算法提供表示该量测尺寸或角度之一个或多个数值。在用于设计用于一LED上之光子晶体之方法中，基于所要来自该光子晶体之发光特性模拟一预期之反射比回应或图案。改变该光子晶体之一个或多个设计参数。以大体每一参数变化确定该光子晶体之一临时反射比回应。将临时反射比回应与该所希望之反射比回应比较。选择最佳匹配该所希望之反射比回应之一或多个反射比回应。使用与该所选临时反射比回应关联之设计参数之一个或多个来设计一光子晶体。 |
