| 摘要 |
本发明的目的在于提供一种用于雷射退火的移相器，其系能够有效地避免粒子的沾黏。一第一层(1)以及一第三层(3)是由石英玻璃所制成，以及细微沟槽(5，6)的一二维图案会在该等层(1，3)的该等表面中形成，其中，该第一层(1)以及该第三层(3)系配置为使得一第二层(2)会被夹在该等层之间，而呈现出该等被提供有该等沟槽的表面彼此面对的状态，再者，该第一层(1)的一周围边缘部分乃会藉由一间隙壁(4)而在该第三层(3)的周围边缘部分上形成薄片，此外，该第二层(2)乃是由一被导入该第一层(1)以及该第三层(3)之间的钝气所制成。 |
