| 发明名称 |
PROCEDE DE POLISSAGE MECANO-CHIMIQUE DE SUBSTRATS METALLIQUES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2835844(B1) |
申请公布日期 |
2006.12.15 |
| 申请号 |
FR20020001790 |
申请日期 |
2002.02.13 |
| 申请人 |
CLARIANT |
发明人 |
JACQUINOT ERIC;BOUVET DIDIER;BEAUD PATRICE |
| 分类号 |
B24B37/00;C09G1/02;B24B29/02;C09K3/14;C23F1/16;C23F3/00;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/321 |
主分类号 |
B24B37/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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