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发明名称 Chemisch verstärkte Positivresistzusammensetzung
摘要
申请公布号 DE69933825(D1) 申请公布日期 2006.12.14
申请号 DE19996033825 申请日期 1999.08.25
申请人 SUMITOMO CHEMICAL CO. LTD. 发明人 FUJISHIMA, HIROAKI;UETANI, YASUNORI;ARAKI, KAORU
分类号 G03F7/004;G03F7/039 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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