发明名称 Verfahren zur Herstellung duenner Schichten
摘要
申请公布号 DE915765(C) 申请公布日期 1954.07.29
申请号 DE1948P012263 申请日期 1948.10.02
申请人 PHYSIKALISCHES UNTERSUCHUNGSLABORATORIUM G.M.B.H. 发明人 HIESINGER DR. LEOPOLD
分类号 C23C14/32 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
主权项
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