用于电检验的电离测试

摘要

一种用于在电子衬底(20)中的断路和短路的无接触电测试的方法和装置。将顶表面电测试部件(22)暴露于在环境条件下的电离源(10)并且通过与对应的底表面部件(23)接触的探针测量随后的电荷积累作为漏电流。通过漏电流的消失检测断路，并且通过关闭电离源(10)以及利用施加到阵列中每个探针的不同偏置再次测量底表面探针来检测短路。

主权项

1.一种用于电子衬底的无接触电测试的装置，包括：至少一个电子衬底(20)，具有在所述电子衬底(20)的顶侧上的顶表面导电部件(22)，所述顶表面导电部件(22)与在所述电子衬底(20)的底侧上的底表面导电部件(23)电接触；电离源(10)，位于所述电子衬底(20)的所述顶表面上方并与第一电压源相连；固定装置，固定所述电子衬底；探针阵列，与所述底表面导电部件接触；第二电压源，与所述探针阵列电连接以将所述探针阵列保持在虚地；以及电流测量电子装置，与所述探针阵列接触。