基板检查装置和基板检查方法及回收工具

摘要

本发明的基板检查装置，具备：在保持面保持基板而使其回转的基板回转机器，具有回转自如地支承于基座的盘本体、及固定在该盘本体上侧且形成由向回转方向倾斜的倾斜面构成的凸轮面的三个升降凸轮的盘，和具有把持承载基板的支承面且上下方向移动自如地被引导的升降器本体、及向该升降器本体下侧突起且分别被固定的升降器从动节的升降器；上述升降器从动节的下侧以各个接触点滑动自如地抵接在上述凸轮面，上述接触点向上述倾斜面的上侧移动时上述支承面变得比上述保持面高。根据该构成，可提供能够进一步提高测定精度的基板检查装置及基板检查方法，以及适于使液滴附着在基板的外面而沿着外面移动的基板检查装置、基板检查方法和回收工具。

主权项

1.一种基板检查装置，所述基板检查装置用于检查基板，其特征在于，备有：基板回转机器，所述基板回转机器以保持面从下方对水平的基板的下面进行保持，使其绕垂直的回转中心轴回转，基座，所述基座为基础结构，盘，所述盘具有盘本体和三个升降凸轮，所述盘本体以所述回转中心轴为中心在水平方向回转自如地支承于所述基座，所述三个升降凸轮分别固定在该盘本体的上侧的圆周上的三个部位且形成有凸轮面，该凸轮面由倾斜面构成，该倾斜面沿以所述回转中心轴为中心的一个回转方向向下方倾斜，升降器，所述升降器具有升降器本体和三个升降器从动节，所述升降器本体具有能够将基板承载于上侧的支承面、向上下方向移动自如地在所述基座上被引导、且回转被约束，所述三个升降器从动节，是向下侧突起地被分别固定在该升降器本体的以所述回转中心轴为中心的圆周上的三个部位的部件；三个所述升降器从动节的下侧分别以各个接触点滑动自如地抵接在三个所述凸轮面上，当所述接触点向所述倾斜面的上侧移动时，所述支承面变得比所述保持面高，当所述接触点向所述倾斜面的下侧移动时，所述支承面变得比所述保持面低。