| 发明名称 | 波长可变滤光器及其制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种波长可变滤光器及其制造方法，本发明的波长可变滤光器是将在上表面形成有高反射膜(23)并支撑自由地上下移动的可动体(21a)的可动部(2)、形成有与可动体(21a)间隔静电间隙(EG)而相面对的驱动电极(12)的驱动电极部(1)、形成有与高反射膜(23)间隔光学间隙(OG)而相面对的高反射膜(32)的光学间隙部(3)相互接合而构成的。由此，能够以高精度形成静电间隙，以低驱动电压驱动，并防止制造时及使用时的粘附。 | ||
| 申请公布号 | CN1289926C | 申请公布日期 | 2006.12.13 |
| 申请号 | CN200410056345.5 | 申请日期 | 2004.08.06 |
| 申请人 | 精工爱普生株式会社 | 发明人 | 中村亮介;纸透真一;村田昭浩;与田光宏 |
| 分类号 | G02B5/28(2006.01);G02B26/00(2006.01) | 主分类号 | G02B5/28(2006.01) |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 李香兰 |
| 主权项 | 1.一种波长可变滤光器，其特征是，将在一方的面上形成有可动镜并支撑自由地上下移动的可动体的可动部、形成有与所述可动体间隔规定的静电间隙而相面对的驱动电极的驱动电极部、形成有与所述可动镜间隔规定的光学间隙而相面对的固定镜的光学间隙部相互接合，在所述驱动电极的与所述可动体相面对的区域、所述可动体的与所述驱动电极相面对的区域的任意一方或双方上形成有绝缘膜。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||