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发明名称 CHEMICAL-MECHANICAL POLISHING COMPOSITION AND METHOD FOR USING THE SAME
摘要
申请公布号 EP1730246(A2) 申请公布日期 2006.12.13
申请号 EP20050725517 申请日期 2005.03.14
申请人 CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION 发明人 DE REGE THESAURO, F.,;MOEGGENBORG, K.,;BRUSIC, V.,;BAYER, B.,
分类号 C09G1/02;H01L21/321 主分类号 C09G1/02
代理机构 代理人
主权项
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