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发明名称
SILYLATION METHOD FOR REDUCING CRITICAL DIMENSION LOSS AND RESIST LOSS
摘要
申请公布号
KR100655536(B1)
申请公布日期
2006.12.07
申请号
KR20027002428
申请日期
2002.02.25
申请人
发明人
分类号
G03F7/26
主分类号
G03F7/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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