发明名称 Verfahren und Apparat für verbesserte Inspektionsmessungen
摘要
申请公布号 DE69933726(D1) 申请公布日期 2006.12.07
申请号 DE19996033726 申请日期 1999.03.31
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG;INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. 发明人 GOULD, CHRISTOPHER J.;WHEELER, DONALD C.
分类号 G01B11/24;G01N21/88;G01B21/20;G01D3/028;G03F7/20 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
主权项
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