| 发明名称 |
System und Methode zur Dekonvolution des topographischen Effektes von Rastermikroskopmessungen |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60215583(D1) |
申请公布日期 |
2006.12.07 |
| 申请号 |
DE2002615583 |
申请日期 |
2002.06.28 |
| 申请人 |
WATERS INVESTMENTS LTD. |
发明人 |
READING, MIKE, DR.;PRICE, DUNCAN |
| 分类号 |
G01N25/72;G01N25/48;G01N33/15;G01Q30/04;G01Q60/24;G01Q60/58;G01Q70/04 |
主分类号 |
G01N25/72 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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