发明名称 带外置应变仪监视器的流体容器及流体监视控制方法
摘要 流体容器系统(10)包括容器(12)以持留流体,所述的流体在系统使用和工作中从容器(12)中排放。包括应变响应传感器(38)的压力监视组件(36)设置在容器(12)的外表面上,以测定从容器排放流体时发生的容器壁表面上的动态应变,并响应地输出表示压力的响应(40)。该构造可特别用于流体贮存和分配容器的应用场合,所述的容器包括设置在其中的压力调节器组件,并持留液化气或压缩气,例如用于半导体制造操作中。
申请公布号 CN1288067C 申请公布日期 2006.12.06
申请号 CN02805031.2 申请日期 2002.02.14
申请人 高级技术材料公司 发明人 詹姆斯·V·麦克马努斯;迈克尔·J·伍德金斯基;爱德华·E·琼斯
分类号 B67D5/00(2006.01);F17C13/02(2006.01) 主分类号 B67D5/00(2006.01)
代理机构 中原信达知识产权代理有限责任公司 代理人 王维玉;丁业平
主权项 1.一种流体容器系统,其特征在于:包括:以可拆卸的方式与使用流体的处理单元相连接配合的密闭容器,构造和设置所述容器用于在其中持留流体,和连接到所述容器的装置用于从容器中选择性地将流体分配到用于所述单元中的处理单元,所述的容器被设置成当容器中流体耗尽时,处理单元与容器拆开,并更换容器;所述容器包括容器壁,所述的容器壁具有与容器内持留流体接触的内表面,和外表面;和压力监视器,它包括设置在所述容器外表面的应变响应传感器,用于产生与容器中流体压力相关的表示压力的响应,从而当从容器排放流体时能够监视压力,并且容器中的流体压力随该排放相应地改变。
地址 美国康涅狄格州