发明名称 平面显示器的储存电容构造及其制造方法
摘要 本发明公开一种平面显示器的储存电容构造及其制造方法,其中该储存电容构造包含:一基板;一下电极,形成于该基板的上方,该下电极的材质为经掺杂的异质半导体;一绝缘层,形成于该下电极的表面上;以及一上电极,形成于该绝缘层的表面上,该上电极的材质是经掺杂的异质半导体。该储存电容构造制造方法包含下列步骤:提供一基板;于该基板的上方形成一下电极,该下电极的材质为半导体;于该下电极的表面上形成一绝缘层;于该绝缘层的表面上形成一上电极,该上电极的材质为半导体;通过该上电极而对该下电极进行一第一掺质植入动作,以改善该下电极的导电能力;以及对该上电极进行一第二掺质植入动作,以改善该上电极的导电能力。
申请公布号 CN1873916A 申请公布日期 2006.12.06
申请号 CN200610092371.2 申请日期 2002.07.29
申请人 统宝光电股份有限公司 发明人 石安
分类号 H01L21/00(2006.01);H01L21/02(2006.01);H01L21/82(2006.01);H01L27/00(2006.01);H01L27/02(2006.01);G02F1/133(2006.01) 主分类号 H01L21/00(2006.01)
代理机构 隆天国际知识产权代理有限公司 代理人 陈晨
主权项 1、一种平面显示器的储存电容构造制造方法,其包含下列步骤:提供一基板;于该基板的上方形成一下电极,该下电极的材质为半导体;于该下电极的表面上形成一绝缘层;于该绝缘层的表面上形成一上电极,该上电极的材质为半导体;通过该上电极而对该下电极进行一第一掺质植入动作,以改善该下电极的导电能力;以及对该上电极进行一第二掺质植入动作,以改善该上电极的导电能力。
地址 中国台湾苗栗县