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发明名称 Precursor compounds for deposition of ceramic and metal films and preparation methods thereof
摘要
申请公布号 EP1640475(A3) 申请公布日期 2006.12.06
申请号 EP20050251514 申请日期 2005.03.12
申请人 ROHM AND HAAS COMPANY 发明人 SHIN, HYUN KOOK
分类号 C23C16/34;C07F7/00;C07F5/06;C07F7/02;C07F7/10;C07F7/30;C07F9/00;C23C16/00;C23C16/18;C23C16/40;C23C16/42;H01L21/318 主分类号 C23C16/34
代理机构 代理人
主权项
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