白宝石的多弧离子镀金属化的方法

摘要

本发明涉及电真空器件技术，特别是涉及利用多弧离子镀金属化白宝石，进而实现无氧铜—白宝石高可靠气密非匹配外套封的一种新工艺。本发明利用多弧离子镀将纯钛蒸镀到白宝石封接区实现金属化，用于无氧铜—白宝石的高可靠气密外套封，其气密性良好，可以避免白宝石高温金属化的一系列技术困难，也可以避免活性金属粉末法涂层在装架过程中容易遭到破坏，易于漏气，成品率低的缺点。本发明工艺简捷，操作方便，成品率高，便于实现工业化生产。

主权项

1.一种白宝石的多弧离子镀金属化的方法，其特征在于，利用多弧离子镀将纯钛蒸镀到白宝石封接区实现金属化。