| 主权项 |
1.一种基片输送设备，用于保持用来存储基片的前敞口单元化箱型容器，以及用于将存储于所述前敞口单元化箱型容器内的基片输送到用于在基片上执行预定处理的基片处理单元，上述基片输送设备包括：安装部，用于将所述前敞口单元化箱型容器安装于该安装部上以将所述前敞口单元化箱型容器中存储的基片运送到所述基片处理单元；包含按第一预定间隔沿垂直方向排列的多个格架的第一格架行，其中每个格架上能安装上述前敞口单元化箱型容器；设于上述安装部与第一格架行之间，且包含按第二预定间隔沿垂直方向排列的多个格架的第二格架行，其中每个格架上能安装上述前敞口单元化箱型容器；提升件，被连接到第二格架行中的全部格架，用于沿垂直方向上下移动第二格架行中的至少部分格架；用来将保持在所述第一格架行中的前敞口单元化箱型容器输送到所述安装部的输送件，其中所述提升件将第二格架行中与第一格架行内保持所要输送的前敞口单元化箱型容器的指定的一个格架对应的一个格架沿垂直方向相对于所述第一格架行内指定的一个格架上下移动，以保证所述前敞口单元化箱型容器的输送路径，其中所述输送件沿着所述前敞口单元化箱型容器的输送路径依水平方向将所述前敞口单元化箱型容器输送到所述安装部，其中每个所述第一预定间隔和所述第二预定间隔等于或大于前敞口单元化箱型容器沿垂直方向的高度，其中所述前敞口单元化箱型容器输送路径的高度通过所述提升件控制成大于所述第二格架行中的第二预定间隔。 |
