| 摘要 |
本发明提供一种重叠测定装置，其能判断根据影像求出之重叠偏移量是否正确。本发明之重叠测定装置具备有：第1测量机构(13～27)，系藉由测定波长区域的光取得形成于基板11不同层之第1标记与第2标记之影像，根据该测定波长区域之影像求出第1标记与第2标记之重叠偏移量；第2测量机构(13～27)，系藉由与测定波长区域不同之评价波长区域的光取得第1标记与第2标记之影像，根据该评价波长区域之影像求出第1标记与第2标记之重叠偏移量；以及计算机构27，系根据第1测量机构从测定波长区域求出之重叠偏移量与第2测量机构从评价波长区域求出之重叠偏移量，计算关于测定波长区域之重叠偏移量之可靠性指标。 |
