位移量量测装置、方法以及内径量测装置

摘要

一种位移量量测装置、方法以及内径量测装置，系用以量测一待测物件于移动时的位移量、表面轮廓、表面粗糙度或一空心圆柱体之内径；其至少包括有一用以提供光源的发光组件、一用以接收前述发光组件所输出之光并将该光源中不同波长的光线汇聚在不同距离焦点之光色散组件以及一用以量测光线波长之波长量测模组，其中，当前述待测物件于前述焦点色散之范围内移动时，会反射或散射出不同波长分布之光线，并藉由前述波长量测模组量测后，以波长的变化即可得知待测物件的位移量，另外，于前述空心圆柱体之内圆心配置一反射元件，即可利用上述位移量量测装置之原理，量测此空心圆柱体之内径，因此，本发明系利用光色散组件、待测物件的光反应以及波长量测模组取得不同的波长，以达位移量以及内径量测之目的，藉以节省成本。