| 摘要 |
在开关MMIC中，在源极电极以及汲极电极近接配置的位置，会发生高频信号之漏泄、扭曲特性不良的问题。本发明系将闸极配线电极做成梯子状的图案。此外，在开关MMIC(单晶片微波积体电路，Monolithic microwaveintegrated circuit)之所有源极电极–汲极电极之间，配置闸极配线电极。另外，在闸极配线电极、与源极电极或汲极电极的交叉部中，系于三者间配置介电常数大的氮化膜、介电常数小的聚醯亚胺、或中空部。藉此可降低在交叉部的电容，并降低2次高谐波位准。此外，由于可防止汲极电极–源极电极间的高频信号的漏泄，故可降低3次高谐波位准，并大幅提升开关MMIC的扭曲特性。 |
