用于微影装置之感应器

摘要

一种用于高NA微影装置中基板层处之感应器具有一覆盖一感应元件之透明板及用以改良将辐射耦合至该感应元件之配置，其包括费涅(Fresnel)透镜、全息光学元件、反向温斯顿锥(Winston Cone)、球面透镜及表面粗糙度(surface roughening)。