发明名称 粒状结晶体制造装置
摘要 本发明之粒状单结晶体制造装置(1)系让无机材料之熔液的粒状液滴一边自由落下一边凝固,以制作粒状之单结晶体的装置,该装置(1)系具备有:形成为截面积愈往下愈小的落下管(30);具备有在落下管(30)上方,将无机材料熔融而成为熔液的坩锅(11)与形成在该坩锅(11)底部之多个喷嘴(12a、12b),而从该等喷嘴(12a、12b)将上述熔液形成液滴而朝落下管(30)内落下的液滴形成机构(10);在落下管(30)内部,形成从上到下之冷却用惰性气体气流的气流形成机构(50);将无机材料制之多数固体粒子(3)朝落下管(30)内部以与液滴(2)的落下方向呈交差状地放出,而让固体粒子(3)与大约处于过冷却状态之液滴(2)产生接触的固体粒子放出机构(40);回转式球磨机(80);热处理炉(84);及扩散炉(86)等。
申请公布号 TW200641191 申请公布日期 2006.12.01
申请号 TW094132387 申请日期 2005.09.20
申请人 京半导体股份有限公司 发明人 中田仗佑
分类号 C30B29/06(2006.01);B22F9/08(2006.01) 主分类号 C30B29/06(2006.01)
代理机构 代理人 赖经臣;宿希成
主权项
地址 日本
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