氧化铝烧结体与其制造方法、以及使用该氧化铝烧结体之静电夹头与其制造方法

摘要

【课题】提供：满足高强度、金属污染递减及10^15Ω．cm以上之体积电阻值之氧化铝烧结体与其制造方法，以及静电夹头与其制造方法。【解决手段】在纯度99.5％以上之氧化铝粉体中混合黏结剂(步骤S11)、做成造粒粉(步骤S12)、将做成之造粒粉使用模具来成形(步骤S13)、将此成形体热压来烧成(步骤S14)。